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液体在一定温度范围，下降压力至该温度范围汽化压力时，液体便产生填满气体的的汽泡，这就是耐腐蚀泵产生汽蚀的主要原因，从液体中分解出来的空气或其它汽泡，对汽蚀的影响蒸汽泡不同。汽蚀过程中产生的汽泡，游动到高压处时，其体积减小直至破灭。这类是因为压力升高而引起的汽泡消失在液体中的状况被称作汽泡的覆灭。

实践经验证明，汽蚀腐蚀破坏位置，便是汽泡消失的区域，所以常常在叶轮出口处和压水室进口的位置看到破坏迹象。但是不要忘记汽蚀的发源地在叶轮进口的处。因为正常情况下耐腐蚀化工泵的叶轮进口的是压力低的地方。因为这个区域液体的压力相当于或低于在该温度下的液体的汽化压力，便会有蒸汽及溶解在液体的气体从液体中大量的溢出，产生很多蒸汽与气体混合的小气泡。当含有较多的小气泡的液体向前经叶轮内的高压区时，气泡周边的高压液体导致气泡骤然地缩小直至裂开。在气泡凝结裂开的过程中，液体质点以非常高的速度补充空穴，在此瞬间产生非常强烈水击作用，并且以非常高的冲击频次击打金属表层，冲击应力可以达到几百至几千个大气压，冲击频次可以达到每秒几万次，情况严重的时候会将壁厚穿透。在耐腐蚀化工泵中产生气泡和气泡破裂使过流部件遭受破坏过程便是化工泵当中的汽蚀过程。